yy易游app:盛剑半导体获得一种腔体组件及真空泵专利可以有很大作用防备腔室内的工艺气体进入腔体之间的空隙并腐蚀密封件

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  国家知识产权局信息数据显现，上海盛剑半导体科技有限公司获得一项名为“一种腔体组件及真空泵”的专利，授权公告号CN223634905U，请求日期为2024年12月。

  专利摘要显现，本实用新型供给了一种腔体组件及真空泵，触及半导体设备技术领域。腔体组件包含多级腔体。多级腔体相连并构成用于包容转子的腔室，相邻腔体之间构成有盘绕腔室的榜首阻隔通道和用于将榜首阻隔通道隔断开的阻隔部，相邻腔体还设有与榜首阻隔通道连通的进气通道和出气通道，出气通道和进气通道别离设在阻隔部的两边，进气通道向榜首阻隔通道通入阻隔气体，以使阻隔气体从阻隔部的一侧沿榜首阻隔通道流经至阻隔部的另一侧，并从出气通道排出，因而可以有很大作用防备腔室内的工艺气体进入腔体之间的空隙并腐蚀密封件，保证了真空泵的气密性，也保证了真空泵的出产功率以及运用本钱。

  天眼查资料显现，上海盛剑半导体科技有限公司，成立于2021年，坐落上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本11750万人民币。经过天眼查大数据分析，上海盛剑半导体科技有限公司参加招投标项目6次，专利信息117条，此外企业还具有行政许可34个。

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